Tính năng sản phẩm
Hỗ trợ nhiều phiên bản (PLC/PC) và các giao thức truyền thông chính thống khác nhau;
Thiết kế và sản xuất được thực hiện theo tiêu chuẩn sản xuất an toàn SEMI;
Công suất thiết kế kênh cao, UPH400 ~ 550 chiếc;
Thích hợp cho nhiều kích thước sản phẩm và tạp chí;
Thiết kế ở cấp độ tấm wafer MFC đã được cấp bằng sáng chế, ngăn chặn rò rỉ khí gây ra tai nạn về an toàn (hỗ trợ các loại khí có-rủi ro cao như hydro);
Thiết kế buồng kín cao được cấp bằng sáng chế, lên tới 5pa;
Góc tiếp xúc với nước<10° (related to the material of product surface);
Thiết kế bốn kênh để xử lý đồng thời 4 sản phẩm, với các điện cực đáy kép, giảm thời gian ra vào bảng, nâng cao đáng kể hiệu quả và đảm bảo tính đồng nhất của sản phẩm trong quá trình xử lý.
thông số kỹ thuật
|
Cấu hình chức năng |
Thông số kỹ thuật |
|
|
Dài×W×H(mm) |
L1600×W1150×H1700 |
|
|
Thiết bị |
Trọng lượng tịnh (kg) |
1000 |
|
Giải phóng mặt bằng ngoại vi (mm) |
600 ở phía sau, 600 ở cả hai bên |
|
|
buồng |
Âm lượng(L) |
Khoảng 9 |
|
Kênh(số) |
4 |
|
|
Điện cực dưới (chiếc.) |
2 (chức năng chuyển tiếp) |
|
|
Chế độ cho ăn |
Tạp chí |
|
|
Kích thước sản phẩm thích ứng (mm) |
Chiều rộng: 40-100 Chiều dài: 150-300 |
|
|
Điện cực |
Kích thước điện cực (mm) |
528×300 |
|
cung cấp điện RF |
Công suất tiêu chuẩn (kW) |
1 |
|
Tần số (MHZ) |
13.56 |
|
|
Kiểm soát khí |
Lên đến ba kênh |
2 kênh (tiêu chuẩn), 3 kênh (tùy chọn) |
|
Hệ thống điều khiển |
Giao diện con người-máy móc |
PC + màn hình cảm ứng |
|
Giao diện từ xa |
Giao tiếp |
Không bắt buộc |
|
Bơm chân không |
Bơm khô tùy chọn |
17CFM |
|
Bơm dầu tùy chọn |
195CFM |
|
|
Bơm khô tùy chọn có chức năng thanh lọc |
ĐÚNG |
|
|
Tốc độ dòng thanh lọc nitơ (SLM) |
2 |
|
|
Thời gian hút bụi (S) |
10月15日 |
|
|
Thời gian phá vỡ chân không (S) |
3-4 |
|
|
Cơ sở vật chất nhà máy |
Nguồn điện |
Ba-pha 380V50/60Hz 4,5kW(bơm dầu) |
|
Quy mô và loại quy trình |
Swagelok 1/4 inch |
|
|
Độ tinh khiết của khí quá trình |
Cấp công nghiệp trở lên |
|
|
Áp suất của khí xử lý (psig) |
10-20 |
|
|
Kích thước và loại đường ống dẫn khí thanh lọc |
Swagelok 1/4 inch |
|
|
Làm sạch khí tinh khiết |
Cấp công nghiệp trở lên |
|
|
Áp suất khí tẩy (psig) |
15 |
|
|
Kích thước và loại khí nén |
Đẩy 10 mm-vừa khít |
|
|
Độ tinh khiết của khí nén |
Khí nén,{0}}không dầu, điểm sương Nhỏ hơn hoặc bằng 7 độ, các hạt<5 |
|
|
Áp suất khí nén (psig) |
70-90 |
|
|
Khí nén (mm) |
∅8 |
|
|
Sự tuân thủ |
Chứng nhận |
BÁN |
|
Thiết bị phụ trợ |
Máy tạo nitơ (tùy chọn) |
Tùy chọn để thanh lọc nitơ |
|
Bộ làm mát nước (tùy chọn) |
Tùy chọn để làm mát điện cực |
|
|
Bộ hydro (tùy chọn) |
Tùy chọn để xử lý hydro |
|
|
Bộ xử lý khí thải (tùy chọn) |
Tùy chọn để xử lý khí thải flo |
|
|
Vận tải |
Tổng trọng lượng (kg) |
1050 |
|
Số lượng gói |
1 |
|
|
Bao bì phù hợp với tiêu chuẩn SPM15 |
ĐÚNG |
|
Chú phổ biến: Hệ Thống Xử Lý Plasma Chân Không Tự Động VP-10S,Hệ Thống Xử Lý Plasma Chân Không Tự Động VP-10S